實驗室高純氣路泄漏量試驗規(guī)定：

1、泄漏量試驗應在壓力試驗合格后進行，試驗介質宜采用空氣或氮氣。 對輸送高純氣體的管道的泄漏試驗介質 宜采用純度 >99.999%的氮氣；

2、泄漏量試驗壓力應為設計壓力 ；

3、泄漏量試驗時間，應連續(xù)試驗24h ；

4、泄漏量試驗工作，可根據具體條件宜與系統(tǒng)調試結合進行。

5、 泄漏量試驗， 可按式4.1計算泄漏量，并以平均每小時泄漏量不超過1%為合格 。

實驗室高純氣路系統(tǒng)調試、測試要求：

1、強度實驗：管內沖人高純氮氣使壓力到達0.8MPa,保持此壓力如10min內壓力不降為合格；

2、嚴密性實驗：管內沖人高純氮氣使壓力到達0. 5MPa,保持此壓力如30min內壓力不降為合格；

3、潔凈測試：管路中沖人純氮，關閉所有閥門，打開末端閥用一張白布放在管口一分鐘如白布上無雜質和水分即為合格。